发明名称 | 一种热蒸镀坩埚 | ||
摘要 | 本实用新型涉及OLED显示器件的制造技术领域,提供一种热蒸镀坩埚,包括同轴设置的内坩埚和外坩埚;所述内坩埚的喷口与所述外坩埚的喷口位于同一平面上。该方案的热蒸镀坩埚,可以增加不同材料蒸汽的混合区域空间,提高不同材料蒸汽的混合均匀性;此外,还可以解决坩埚分散导致设备空间利用率低的问题。 | ||
申请公布号 | CN205635762U | 申请公布日期 | 2016.10.12 |
申请号 | CN201620526572.8 | 申请日期 | 2016.05.27 |
申请人 | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 孙力;闫光;尤娟娟;焦志强;王小虎;崔伟 |
分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 汤财宝 |
主权项 | 一种热蒸镀坩埚,其特征在于,包括同轴设置的内坩埚和外坩埚;所述内坩埚的喷口与所述外坩埚的喷口位于同一平面上。 | ||
地址 | 230011 安徽省合肥市新站区工业园内 |