发明名称 一种热蒸镀坩埚
摘要 本实用新型涉及OLED显示器件的制造技术领域,提供一种热蒸镀坩埚,包括同轴设置的内坩埚和外坩埚;所述内坩埚的喷口与所述外坩埚的喷口位于同一平面上。该方案的热蒸镀坩埚,可以增加不同材料蒸汽的混合区域空间,提高不同材料蒸汽的混合均匀性;此外,还可以解决坩埚分散导致设备空间利用率低的问题。
申请公布号 CN205635762U 申请公布日期 2016.10.12
申请号 CN201620526572.8 申请日期 2016.05.27
申请人 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 发明人 孙力;闫光;尤娟娟;焦志强;王小虎;崔伟
分类号 C23C14/24(2006.01)I 主分类号 C23C14/24(2006.01)I
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人 汤财宝
主权项 一种热蒸镀坩埚,其特征在于,包括同轴设置的内坩埚和外坩埚;所述内坩埚的喷口与所述外坩埚的喷口位于同一平面上。
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