发明名称 Resist stripper composition
摘要 본 발명은 레지스트 박리액 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 특정 구조의 폴리에테르아민; 및 탄소수 1 내지 6의 알콕시기 또는 탄소수 2 내지 6의 고리형 에테르기로 치환된 탄소수 1 내지 6의 알킬기를 포함하는 아민화합물을 포함함으로써, 레지스트의 박리력이 우수한 레지스트 박리액 조성물에 관한 것이다.
申请公布号 KR20160118548(A) 申请公布日期 2016.10.12
申请号 KR20150046835 申请日期 2015.04.02
申请人 DONGWOO FINE-CHEM CO., LTD. 发明人 PANG, SOON HONG;KIM, WOO IL;CHOI, KYEONG MUK;HONG, HUN PYO;BAEK, JONG WOOK
分类号 G03F7/42 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
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