본 발명은 레지스트 박리액 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 특정 구조의 폴리에테르아민; 및 탄소수 1 내지 6의 알콕시기 또는 탄소수 2 내지 6의 고리형 에테르기로 치환된 탄소수 1 내지 6의 알킬기를 포함하는 아민화합물을 포함함으로써, 레지스트의 박리력이 우수한 레지스트 박리액 조성물에 관한 것이다.
申请公布号
KR20160118548(A)
申请公布日期
2016.10.12
申请号
KR20150046835
申请日期
2015.04.02
申请人
DONGWOO FINE-CHEM CO., LTD.
发明人
PANG, SOON HONG;KIM, WOO IL;CHOI, KYEONG MUK;HONG, HUN PYO;BAEK, JONG WOOK