发明名称 一种双面叉指电极、其加工方法及应用
摘要 本发明提供一种双面叉指电极,该叉指电极设有基板,所述基板表面依次设有缓冲层和导电层;所述基板中设有通孔,通孔是通过沿基板厚度方向贯穿打孔形成的,通孔的上下两个孔口的面积不相等;所述基板由金属或非金属材质的材料中的任一种组成;所属导电层为金属层。
申请公布号 CN106017515A 申请公布日期 2016.10.12
申请号 CN201610365590.7 申请日期 2016.05.28
申请人 惠州市力道电子材料有限公司 发明人 黄兴桥;崔皓博
分类号 G01D5/12(2006.01)I 主分类号 G01D5/12(2006.01)I
代理机构 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙) 44349 代理人 鲁慧波
主权项 一种双面叉指电极,其特征在于,该叉指电极设有基板(1),所述基板表面依次设有缓冲层(2)和导电层(3);所述基板中设有通孔(11),通孔是通过沿基板厚度方向贯穿打孔形成的,通孔的上下两个孔口的面积不相等;所述基板由金属或非金属材质的材料中的任一种组成;所属导电层为金属层。
地址 516000 广东省惠州市惠州大亚湾西区科技创新园科技5号