发明名称 |
一种双面叉指电极、其加工方法及应用 |
摘要 |
本发明提供一种双面叉指电极,该叉指电极设有基板,所述基板表面依次设有缓冲层和导电层;所述基板中设有通孔,通孔是通过沿基板厚度方向贯穿打孔形成的,通孔的上下两个孔口的面积不相等;所述基板由金属或非金属材质的材料中的任一种组成;所属导电层为金属层。 |
申请公布号 |
CN106017515A |
申请公布日期 |
2016.10.12 |
申请号 |
CN201610365590.7 |
申请日期 |
2016.05.28 |
申请人 |
惠州市力道电子材料有限公司 |
发明人 |
黄兴桥;崔皓博 |
分类号 |
G01D5/12(2006.01)I |
主分类号 |
G01D5/12(2006.01)I |
代理机构 |
惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙) 44349 |
代理人 |
鲁慧波 |
主权项 |
一种双面叉指电极,其特征在于,该叉指电极设有基板(1),所述基板表面依次设有缓冲层(2)和导电层(3);所述基板中设有通孔(11),通孔是通过沿基板厚度方向贯穿打孔形成的,通孔的上下两个孔口的面积不相等;所述基板由金属或非金属材质的材料中的任一种组成;所属导电层为金属层。 |
地址 |
516000 广东省惠州市惠州大亚湾西区科技创新园科技5号 |