发明名称 |
用于对薄层进行非接触式测量的光声装置和方法 |
摘要 |
一种用于对层进行非机械接触式测量的测量装置,所述测量装置包括光源,所述光源可操作来产生适于与所述层相互作用的脉冲以便于在邻近所述层存在的气体介质中产生热波。所述热波导致产生声信号。所述测量装置还包括检测器,所述检测器适于响应于所述声信号检测第一信号,所述检测器不与所述层机械接触。所述第一信号表示所述测量的层。 |
申请公布号 |
CN106030242A |
申请公布日期 |
2016.10.12 |
申请号 |
CN201580008962.4 |
申请日期 |
2015.02.16 |
申请人 |
诺维尔里斯公司 |
发明人 |
H.普林斯霍尔恩;S.埃尔德曼;T.乌特克;A.鲍尔;B.阿贝尔;A.查瓦特 |
分类号 |
G01B17/02(2006.01)I;G01N29/04(2006.01)I |
主分类号 |
G01B17/02(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
王洪斌;陈岚 |
主权项 |
一种用于对层进行非机械接触式测量的测量装置,所述测量装置包括:光源,所述光源可操作来产生适于与所述层相互作用的脉冲以便于在邻近所述层存在的气体介质中产生热波,所述热波导致产生声信号;以及检测器,所述检测器适于响应于所述声信号检测第一信号,所述检测器不与所述层机械接触,其中所述第一信号表示所述测量的层。 |
地址 |
美国乔治亚州 |