一种压电晶片振子驱动的柱塞泵

摘要

本发明涉及一种压电晶片振子驱动的柱塞泵，属流体驱动控制领域。腔体端部安装的泵盖及内部安装的活塞形成泵腔；固定在活塞杆端部的连接块上装有压电振子，压电振子两端固定在左右壁板上；振子安装前为平直结构、安装后变成弯曲结构，压电晶片承受压应力；压电振子上处于连接块左右两侧部分构成驱动单元I和II，其驱动电压相位差为180度；压电振子在一个驱动单元中伸长量达最大时在另一个驱动单元中缩短量达最大、缩短量和伸长量相互制约。特色与优势：通过安装方法构造伸缩式压电驱动器，制作方法及工艺简单、成本低；压电片仅受压应力、且两驱动单元变形量相互制约，可靠性高；易通过增加压电振子数量和长度分别提高泵的流量和压力。

主权项

一种压电晶片振子驱动的柱塞泵，其特征在于：主体上设有左壁板和右壁板，左壁板上设有相互连通的导向孔和腔体，腔体侧壁端部经螺钉安装有泵盖，泵盖上设有进口阀和出口阀；腔体内装有活塞，活塞与腔体侧壁及泵盖形成泵腔；活塞杆经导向孔伸出，活塞杆端部固定有连接块，连接块上经压块和螺钉安装有两组压电振子，压电振子两端分别固定在左壁板和右壁板上，压电振子由金属基板和压电晶片粘接而成；压电振子安装前为平直结构、且长度大于左壁板和右壁板间的距离，压电振子安装后变成弯曲结构、且压电晶片曲率半径小于金属基板的曲率半径，压电晶片承受压应力、金属基板承受拉应力；压电振子上处于连接块左侧的部分构成驱动单元I、右侧部分构成驱动单元II，驱动单元I和II的驱动电压相位差为180度；压电振子在一个驱动单元中伸长量达最大时在另一个驱动单元中缩短量达到最大，缩短量和伸长量相互制约。