| 摘要 |
계측 타겟을 설계하는 방법이 제공된다. 방법은 타겟 디자인 내의 연속적인 영역을 식별하는 것과, 지정된 충전 요소를 식별된 연속적인 영역 내로 도입하는 것을 포함한다. 도입된 충전 요소의 파라미터는 콘트라스트 요건과 식별하는 연속적인 영역과 제조를 거쳐 연관되는 부정확도 요건 사이의 절충에 의해 결정된다. 각각의 타겟 및 타겟 디자인 파일이 개시된다. 선택적으로, 타겟은 향상된 정확도를 갖고, 동일한 계측 장비 및 절차로 측정될 수도 있다. |
