| 摘要 |
이온 비임 각도 검출 장치는 프로파일러 상판 내에 형성된 프로파일러 구멍 및 프로파일러 센서 조립체를 포함하는 가변 프로파일러 조립체에 고정적으로 부착되는 선형 드라이브 조립체, 및 마스크 구멍을 갖춘 가변 각도 마스크를 포함하며, 상기 가변 프로파일러 조립체에 단단하지 않게 부착되는 가변 각도 마스크 조립체를 포함하며, 상기 마스크 구멍은 상기 가변 프로파일러 조립체에 단단히 부착된 마스크 선형 드라이브를 활성화함으로써 상기 프로파일러 구멍에 대해 이동가능하며, 상기 프로파일러 구멍은 상기 이온 비임의 긴 길이보다 더 긴 길이를 통해 이동가능하다. |
