改进的气室及其制作方法

摘要

本申请提出了气室以及其制作方法(200)，其中气室腔体完全由碱金属的水溶液填充(208)，并且该溶液以受控的蒸发速率烘干(210)，以基本上维持在腔体侧壁的界面的边缘接触钉扎，从而促进在中心的优先蒸发，以及从未钉扎的空气‑液体界面流向侧壁的向外毛细管流动，以在侧壁形成晶体化的碱金属材料，并且抑制分散的水溶液在透明的腔体底部的烘干，从而提供通过腔体的基本上不受限制的光通路，用于原子钟和其他应用。

主权项

一种制造气室的方法，包括：形成腔体，所述腔体包括在衬底的第一侧和第二侧之间延伸的至少一个侧壁；将下部窗口键合到所述衬底的所述第二侧，以形成腔体底部；用包含碱金属材料的水溶液填充所述腔体，所述水溶液延伸到接触线，所述接触线基本上在所述腔体的至少一个侧壁的接近所述衬底的所述第一侧的顶部处；以受控温度和湿度烘干所述水溶液，从而基本上维持在所述水溶液和所述至少一个侧壁之间的钉扎液体界面处的所述水溶液的边缘接触钉扎，以促进所述水溶液接近未钉扎的空气‑液体界面中心的优先蒸发，促进从未钉扎空气‑液体界面朝向所述钉扎液体界面的所述水溶液的向外毛细管液体流动，以及促进分散的水溶液的烘干，从而在接近所述至少一个侧壁处形成晶体化的碱金属材料，并且抑制分散的水溶液在所述腔体底部的烘干；将上部窗口键合到所述衬底的所述第一侧，以密封所述腔体；以及曝光所述晶体化的碱金属材料以进行UV光分解，从而在密封的腔体中形成碱金属气体。