一种基于低电压驱动液晶材料的可调谐太赫兹超材料滤波器及其制备方法

摘要

一种基于低电压驱动液晶材料的可调谐太赫兹超材料滤波器及制备方法。要解决现有的太赫兹超材料滤波器的工作波长固定，工作带宽有限，应用范围窄，结构及制备工艺复杂，可靠性低的问题。本发明滤波器为多层平板结构，包括玻璃衬底层、第一金属结构层、绝缘层、金属种子层、第二金属结构层、液晶材料和玻璃盖板；制备方法：一、制备金属结构层；二、制备绝缘层；三、制备金属种子层；四、制备电镀用模具结构；五、制备周期性缝隙金属结构；六、填充液晶材料，盖玻璃盖板。本发明滤波器所需的电压减小、结构简单，调谐范围宽，响应时间快，极化不敏感，化学稳定性好。本发明方法适用于制备低电压驱动液晶材料的可调谐太赫兹超材料滤波器。

主权项

一种基于低电压驱动液晶材料的可调谐太赫兹超材料滤波器，该滤波器为多层平板状，包括玻璃衬底层(1)、第一金属结构层(2)、绝缘层(3)、金属种子层(4)、第二金属结构层(5)、液晶材料(6)和玻璃盖板(7)；所述第一金属结构层(2)设置于玻璃衬底层(1)上表面，第一金属结构层(2)由矩形阵列排布的圆柱形金属(2‑1)和连接圆柱形金属(2‑1)的长条形金属(2‑2)组成；所述绝缘层(3)设置于圆柱形金属(2‑1)和长条形金属(2‑2)围成的区域内，以及长条形金属(2‑2)上表面；绝缘层(3)的上表面为平面；所述金属种子层(4)设置于绝缘层(3)的上表面和圆柱形金属(2‑1)上表面，金属种子层(4)上表面为平面；圆柱形金属(2‑1)上表面的金属种子层和绝缘层(3)的上表面的金属种子层之间为圆环形空隙，宽度为2～20μm；所述第二金属结构层(5)设置于金属种子层(4)上表面，具有圆环形空隙，第二金属结构层(5)的上表面为平面，第二金属结构层(5)的圆环形空隙与金属种子层(4)之间的圆环形空隙上下贯通；所述液晶材料(6)填充于金属种子层(4)之间的圆环形空隙和第二金属结构层(5)的圆环形空隙中；所述玻璃盖板(7)设置于第二金属结构层(5)的上表面。