半导体气体传感器芯片、传感器及传感器的制备方法

摘要

本发明揭示了一种半导体气体传感器芯片、传感器及其制备方法，其中，半导体气体传感器芯片包括：基底，包括相对设置的第一基底表面和第二基底表面；设置于第一基底表面上的加热层和功能层及设置于第二基底表面上的绝热层；绝缘介质层，设置于功能层和加热层之间；加热层较功能层靠近第一基底表面，加热层包括相互电性连接的加热电阻和加热电极，功能层包括相互电性连接的信号感测电极和气体敏感层。与现有技术相比，本发明提供的半导体气体传感器芯片，通过绝热层固定于基座上形成半导体气体传感器，与传统半导体气体传感器制备工艺相比，具有更小的封装尺寸和更低的功耗；与MEMS气体传感器制备工艺相比，制备工艺更简单。

主权项

一种半导体气体传感器芯片，其特征在于，包括：基底，包括相对设置的第一基底表面和第二基底表面；设置于所述第一基底表面上的加热层和功能层及设置于所述第二基底表面上的绝热层；绝缘介质层，设置于所述功能层和所述加热层之间；其中，所述加热层较所述功能层靠近所述第一基底表面，所述加热层包括相互电性连接的加热电阻和加热电极，所述功能层包括相互电性连接的信号感测电极和气体敏感层。