发明名称 一种提高铜锌锡硫/硫化铟太阳能电池效率的方法
摘要 本发明公开了一种提高铜锌锡硫/硫化铟太阳能电池效率的方法,用溶胶‑凝胶法制备铜锌锡硫薄膜,随后对负载有铜锌锡硫薄膜的钼基片进行加热处理,待基片升高到150℃时,采用真空热蒸发法在铜锌锡硫薄膜上面生长硫化铟薄膜,得到铜锌锡硫/硫化铟异质结,大大提高了铜锌锡硫/硫化铟太阳能电池的效率。此外,本发明可操作性强,容易实现,能用于薄膜太阳能电池的制备,对太阳能电池效率的提高有着重要贡献。
申请公布号 CN106024963A 申请公布日期 2016.10.12
申请号 CN201610571961.7 申请日期 2016.07.20
申请人 福州大学 发明人 俞金玲;郑重明;程树英;赖云锋;郑巧;周海芳;董丽美
分类号 H01L31/072(2012.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/072(2012.01)I
代理机构 福州元创专利商标代理有限公司 35100 代理人 蔡学俊
主权项 一种提高铜锌锡硫/硫化铟太阳能电池效率的方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤1):对透明玻璃片进行清洁处理,即将玻璃片依次在去离子水、丙酮和乙醇中进行超声处理,然后取出、烘干;步骤2):将步骤1)烘干的玻璃片放入溅射机的基片架上,之后抽真空,溅射金属钼;步骤3):将一水合醋酸铜、二水合醋酸锌以及二水合氯化亚锡混合后,加入硫脲溶解到乙二醇甲醚中,并加入稳定剂,50℃水浴加热搅拌1h,得到胶体;步骤4):利用旋涂法将步骤3)制备的胶体涂覆在步骤2)所得的钼基片上, 经280℃烘烤制成铜锌锡硫预制层薄膜;重复数次以达到所需薄膜厚度,膜厚为800nm;步骤5):把步骤4)制得的铜锌锡硫预制层薄膜样品放入石英舟,再放进硫化炉中的石英玻璃管内,用机械泵对石英玻璃管抽真空,到5pa以下后关闭机械泵;然后往炉中的石英玻璃管通入N<sub>2</sub>气体,流量为180sccm,通10min后保持通入N<sub>2</sub>气体,再通入H<sub>2</sub>S气体,流量为20sccm;十分钟之后,开始让硫化炉升温,1h后升到580℃,保持温度1h,随后用冷却水冷却4h至室温,制得太阳电池吸收层材料铜锌锡硫薄膜;步骤6):将步骤5)制得的铜锌锡硫薄膜置于真空蒸发炉的蒸发腔内;将硫化铟粉末置于蒸发舟中,再放进蒸发腔内;将蒸发腔抽真空后,对负载有铜锌锡硫薄膜的钼基片进行加热,待基片升高到150℃时,加电流对蒸发舟进行加热,至蒸发舟内的硫化铟粉末完全蒸发,此时电流为100A,然后停止蒸发,得到铜锌锡硫/硫化铟异质结;步骤7):在步骤6)所得的异质结上溅射上本征氧化锌;步骤8):在步骤7)制备的样品上溅射掺铟氧化锡;步骤9):在步骤8)制备的样品上覆盖掩膜版后,用真空热蒸发栅状金属铝电极。
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