发明名称 一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片
摘要 本发明公开了一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片,该保护片以Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub>和SiO<sub>2</sub>为高低折射率材料,入射面采用负滤光片加多层分光膜的膜系设计方法辅以等效匹配层,获得满足要求的设计结果;背面设计了宽光谱减反射膜,以消除因剩余反射而引起的鬼像。VNIR狭缝保护片在制备过程中采用了离子辅助沉积、合适的沉积温度及沉积速率等特定工艺。该VNIR狭缝保护片能够实现对480‑700nm波段的中性分光,同时对400‑440nm、800‑1100nm的宽光谱波段实现高透射。本发明VNIR狭缝保护片性能稳定,适合于高光谱相机VNIR波段的光谱选择与能量控制使用。
申请公布号 CN106019426A 申请公布日期 2016.10.12
申请号 CN201610538955.1 申请日期 2016.07.11
申请人 中国科学院上海技术物理研究所 发明人 于天燕;成效春;蒋林;刘定权
分类号 G02B1/115(2015.01)I 主分类号 G02B1/115(2015.01)I
代理机构 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人 郭英
主权项 一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片,所述的保护片对480‑700nm波段的中性分光,同时对400‑440nm、800‑1100nm的宽光谱波段实现高透,它的结构为:在蓝宝石基底(2)的入射面上有光谱选择与能量调控多层膜(1)、在蓝宝石基底(2)的背面有宽光谱减反射膜(3),其特征在于:所述的光谱选择与能量调控多层膜(1)的膜系结构为:基底/3.069H1.805L.293H1.316L(.293L.993H.824L)<sup>2</sup>2.874H 1.505L/空气所述的宽光谱减反射膜(3)的膜系结构为:基底/.489H.233L.984H.295L.497H 1.249L/空气式中:L表示光学厚度为λ<sub>0</sub>/4的SiO<sub>2</sub>膜层;H表示光学厚度为λ<sub>0</sub>/4的Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub>膜层;λ<sub>0</sub>为中心波长;H、L前的数字为λ<sub>0</sub>/4光学厚度的比例系数乘数;指数2表示膜堆周期数。
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