| 发明名称 | 蚀刻剂组合物、液晶显示器阵列基板及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于蚀刻铜基金属层的蚀刻剂组合物，其基于所述组合物的总重量包括：(a)10‑25wt％的过氧化氢；(b)1‑10wt％的柠檬酸；(c)0.05‑2wt％的唑化合物；(d)0.001‑0.1wt％的磷酸盐化合物；(e)1‑5wt％的多元醇表面活性剂；和(f)余量水，并且涉及蚀刻方法和用于使用所述蚀刻剂组合物制造液晶显示器阵列基板的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN106011859A | 申请公布日期 | 2016.10.12 |
| 申请号 | CN201610134402.X | 申请日期 | 2016.03.09 |
| 申请人 | 东友精细化工有限公司 | 发明人 | 李铉奎;金炼卓;梁圭亨;郑成珉 |
| 分类号 | C23F1/18(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京度衡知识产权代理有限公司 11601 | 代理人 | 钟锦舜 |
| 主权项 | 用于蚀刻铜基金属层的蚀刻剂组合物，其基于所述组合物的总重量包括：10‑25wt％的过氧化氢(a)；1‑10wt％的柠檬酸(b)；0.05‑2wt％的唑化合物(c)；0.001‑0.1wt％的磷酸盐化合物(d)；1‑5wt％的多元醇表面活性剂(e)；和余量的水(f)。 | ||
| 地址 | 韩国全罗北道 | ||