感光性树脂组合物、图案形成方法、固化膜、绝缘膜、滤色器及显示装置

摘要

本发明的课题在于提供一种利用低曝光量可形成密合性优异的图案的负型感光性树脂组合物、使用了该负型感光性树脂组合物的图案形成方法、使用该负型感光性树脂组合物形成的固化膜、绝缘膜及滤色器、以及具有该固化膜、绝缘膜或滤色器的显示装置。本发明的解决手段为含有下述式(1)表示的化合物的负型感光性树脂组合物。式(1)中，R¹为氢原子或烷基，R²为可以具有取代基的芳香族基，R³为可以具有取代基的亚烷基，R⁴各自独立地为卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、磺酸盐/酯基、膦基、氧膦基、膦酸盐/酯基、或有机基团，n为0～3的整数。

主权项

一种感光性树脂组合物，其含有下述式(1)表示的化合物，式(1)中，R¹为氢原子或烷基，R²为可以具有取代基的芳香族基，R³为可以具有取代基的亚烷基，R⁴各自独立地为卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、磺酸盐/酯基、膦基、氧膦基、膦酸盐/酯基、或有机基团，n为0～3的整数。