一种分段式进出口室

摘要

一种分段式进出口室，一级腔体外设有第一门阀隔绝大气与真空腔体；一级腔体与二级腔体相连接，同时两个腔体之间设有第二门阀；二级腔体与缓冲室相连接，同时设有第三门阀；辊道设置在一级腔体和二级腔体内部；盖板分别设置在两个腔体的上部；放气阀设置在盖板上部。本实用新型的积极效果是：本装置满足生产常规玻璃板面快速抽空的市场诉求，同时也能满足生产更长的玻璃。符合符合镀膜生产需求。

主权项

一种分段式进出口室，其特征在于，包括一级腔体、二级腔体、门阀、盖板、放气阀、辊道、支撑脚；所述一级腔体外设有第一门阀隔绝大气与真空腔体；所述一级腔体与所述二级腔体相连接，同时两个腔体之间设有第二门阀；所述二级腔体与缓冲室相连接，同时设有第三门阀；所述辊道设置在所述一级腔体和所述二级腔体内部；所述盖板分别设置在两个腔体的上部；所述放气阀设置在所述盖板上部。