一种低成本纳米多孔硅和氧化硅超细微粒的制备方法

摘要

本发明涉及半导体和太阳能硅材料技术领域，具体地说是一种低成本纳米多孔硅和氧化硅超细微粒的制备方法。一种低成本纳米多孔硅和氧化硅超细微粒的制备方法，采用金刚石线在去离子水中切割硅片后所产生的硅粉水溶液作为原材料，制备方法如下：将硅粉水溶液经过提纯获得的水合硅微粒；将水合硅微粒可在氢氟酸与硝酸水溶液中通过化学腐蚀工艺制备出纳米多孔硅微粒；将纳米多孔硅微粒直接进行加热后可制备出高比表面积的纳米多孔水合氧化硅或氧化硅微粒材料，作为高效吸附或过滤材料使用。同现有技术相比，提供一种低成本纳米多孔硅和氧化硅超细微粒的制备方法，经生产工艺改进后，将硅微粒转化为水合纳米多孔硅和氧化硅微粒，使其得以资源化利用。

主权项

一种低成本纳米多孔硅和氧化硅超细微粒的制备方法，采用金刚石线在去离子水中切割硅片后所产生的硅粉水溶液作为原材料，其特征在于：所述的制备方法如下：（1）将硅粉水溶液经过提纯获得的水合硅微粒，水合硅微粒的尺寸为100~1000nm；（2）将水合硅微粒可在氢氟酸与硝酸的水溶液中通过化学腐蚀工艺制备出纳米多孔硅微粒，纳米孔径分布为2~30nm；（3）或者将水合硅微粒可在氢氟酸与乙醇的水溶液中通过电化学腐蚀工艺制备出纳米多孔硅微粒，纳米孔径分布为2~50nm；（4）将纳米多孔硅微粒直接进行加热后可制备出高比表面积的纳米多孔水合氧化硅或氧化硅微粒材料，作为高效吸附或过滤材料使用。