用于抛光钴的浆液以及衬底抛光方法

摘要

本发明提供一种用于抛光钴的浆液以及衬底抛光方法。所述浆液包含：经配置以执行抛光的研磨剂，所述研磨剂包括氧化锆颗粒；经配置以分散研磨剂的分散剂；以及经配置以加速抛光的抛光加速剂。所述抛光加速剂包含含有胺基和羧基的有机酸。依据根据示范性实施例的浆液，钴的抛光速率可增加而无需使用氧化剂，且可抑制钴的表面上的局部腐蚀缺陷。

主权项

一种用于抛光钴的浆液，包括：研磨剂，经配置以执行抛光，所述研磨剂包括氧化锆颗粒；分散剂，经配置以分散所述研磨剂；以及抛光加速剂，经配置以加速所述抛光，其中所述抛光加速剂包括含有胺基和羧基的有机酸。