载台装置和显微镜

摘要

本发明提供一种载台装置和显微镜。载台装置包括板状的载台板和板件，所述载台板在第一方向和与所述第一方向相交的第二方向上具有延展度，所述板件具有与所述载台板不同的线膨胀系数，所述载台装置包括：第一保持单元，被构造为将所述板件保持在所述载台板上；第二保持单元，被构造为将所述板件保持在所述载台板上，允许所述载台板与所述板件之间基于线膨胀系数间的差异在所述第一方向上产生的相对变形，并且约束在所述第二方向上的相对变形；以及第三保持单元，被构造为将所述板件保持在所述载台板上，约束所述第一方向上的变形，并且允许所述第二方向上的变形。

主权项

一种载台装置，其包括板状的载台板和板件，所述载台板在第一方向和与所述第一方向相交的第二方向上具有延展度，所述板件具有与所述载台板不同的线膨胀系数，所述载台装置包括：第一保持单元，被构造为将所述板件保持在所述载台板上；第二保持单元，被构造为将所述板件保持在所述载台板上，允许所述载台板与所述板件之间基于线膨胀系数间的差异在所述第一方向上产生的相对变形，并且约束在所述第二方向上的相对变形；以及第三保持单元，被构造为将所述板件保持在所述载台板上，约束所述第一方向上的变形，并且允许所述第二方向上的变形。