一种铜研磨方法及系统

摘要

本发明提供了一种研磨方法及系统，包括：提供一具有第一待研磨层的衬底；对第一待研磨层进行初始研磨，以去除部分第一待研磨层；量测经初始研磨后的第一待研磨层的初始厚度；根据初始厚度、所设定的第一待研磨层的目标厚度以及再研磨的研磨速率，计算出再研磨的研磨时间；对第一待研磨层进行第一次再研磨；当再研磨的研磨时间结束时，量测经第一次再研磨的第一待研磨层的第一完成厚度；判断所述第一完成厚度是否在目标厚度的允许范围内；若为否，以所述第一完成厚度的值作为初始厚度的新值，重复循环上述过程以进行多次再研磨过程，来实现对铜研磨厚度的精确控制。本发明可以实现对待研磨层的厚度的精确控制，提高了研磨效率。

主权项

一种研磨方法，其特征在于，包括：步骤01：提供一具有第一待研磨层的衬底；步骤02：对第一待研磨层进行初始研磨，以去除部分第一待研磨层；步骤03：量测经初始研磨后的第一待研磨层的初始厚度；步骤04：根据初始厚度、所设定的第一待研磨层的目标厚度以及再研磨的研磨速率，计算出再研磨的研磨时间；步骤05：对第一待研磨层进行第一次再研磨；步骤06：当再研磨的研磨时间结束时，量测经第一次再研磨的第一待研磨层的第一完成厚度；步骤07：判断所述第一完成厚度是否在目标厚度的允许范围内；步骤08：若为否，以所述第一完成厚度的值作为初始厚度的新值，重复循环步骤04‑08以进行多次再研磨过程。