一种柔性非晶硅薄膜太阳电池的制备方法

摘要

本发明提出一种柔性非晶硅薄膜太阳电池的制备方法，其包括如下步骤：将成卷带磁性不锈钢带装入清洗机中，采用卷对卷方式传送并对钢带两个表面同时进行清洗、干燥；钢带表面磁控溅射沉积金属和金属氧化层；采用等离子体化学气相沉积法沉积非晶硅层形成叠层太阳电池结构；在电池顶部沉积铟锡氧化物；以及在电池的光入射面布置栅线，然后进行电极接合、电池切割和电池互联，从而构成薄膜电池组件。本发明的柔性非晶硅薄膜太阳电池的制备方法采用卷对卷工艺技术来制备的大面积柔性衬底非晶硅薄膜太阳电池，非晶硅薄膜的沉积速度快，大面积薄膜生长均匀。

主权项

一种柔性非晶硅薄膜太阳电池的制备方法，其特征在于，其包括如下步骤：S1、将成卷带磁性不锈钢带装入清洗机中，采用卷对卷方式传送并对钢带两个表面同时进行清洗、干燥；S2、在钢带表面磁控溅射沉积金属和金属氧化层；S3、采用等离子体化学气相沉积法沉积非晶硅层形成叠层太阳电池结构；S4、在电池顶部沉积铟锡氧化物；以及S5、在电池的光入射面布置栅线，然后进行电极接合、电池切割和电池互联，从而构成薄膜电池组件。