32通道低频RFID晶圆测试系统及方法

摘要

本发明的32通道低频RFID晶圆测试系统，包括32通道垂直探针卡，与被测芯片物理接触，获得已调信号；专用测试机模块，对已调信号进行解调，还原被测芯片包含的编码信息，判断被测芯片功能是否正确，将结果数据发送给上位机；上位机，接收所述结果数据进行显示、储存，并将数据与指令发送到探针台；探针台，根据所述指令进行测试操作，完成机械移动，并根据所述结果数据完成二进制值的写入，直至测试完成，获得整个晶圆map图。有益效果：实现了一个操作方便、简单高效、性能稳定的系统。

主权项

一种32通道低频RFID晶圆测试系统，其特征在于，包括32通道垂直探针卡，与被测芯片物理接触，获得已调信号；专用测试机模块，模块内的微控制器通过锁相环资源产生载波测试向量，并对已调信号进行解调，还原被测芯片包含的编码信息，与存入微控制器的预期响应进行比较，判断被测芯片功能是否正确，并将判断结果标记到对应通道数，将结果数据发送给上位机；上位机，接收所述结果数据进行显示、储存，并将数据与指令发送到探针台；探针台，根据所述指令进行测试操作，完成机械移动，并根据所述结果数据完成二进制值的写入，直至测试完成，获得整个晶圆map图。