X METHOD AND APPARATUS FOR CHECKING DEGREE OF VACUUM OF X-RAY SOURCE

摘要

본 발명은 제조된 X선 소스의 진공도를 측정하기 위한 진공도 측정방법 및 진공도 측정장치에 관한 것으로서, 캐소드와 애노드를 포함하는 X선 소스의 캐소드와 애노드에 연결되는 전원과; 상기 애노드에 연결된 이온측정기를 포함하는 X선 소스의 진공도 측정장치와, (S10) 이온 농도와 진공도 간 관계를 인덱싱하는 단계; (S20) X선 소스의 이온농도를 측정하고, 상기 이온 농도와 진공도 간 관계로 상기 X선 소스의 진공도를 산출하는 진공도 측정단계를 포함하는 X선 소스의 진공도 측정방법을 제공한다.