METHOD AND SYSTEM FOR DEPOSITION OF PATTERNED ORGANIC THIN FILMS

摘要

본 발명은 상이한 전도도를 갖는 복수의 흐름 통로를 이용할 수 있어 비교적 짧은 지연 시간으로 침착을 가능하게 하는 고 처리량 OVJP 시스템 및 방법을 제공한다. 고 처리량 OVJP 시스템은 공급원 물질이 침착 동안 배출될 수 있는 하나 이상의 개구의 직경보다 훨씬 더 큰 단면적을 갖는 흐름 관을 포함할 수 있다. 그러한 구성의 용도는 감소된 지연 시간으로 침착을 허용할 수 있다.