发明名称 基板保持环
摘要 1.本外观设计产品的名称为基板保持环。2.本外观设计产品如使用状态参考图所示,例如在制造半导体等的基板研磨工序中将晶片等基板保持在环内以便进行对基板单面的研磨。3.本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。4.指定立体图1为最能表明设计要点的视图。5.由于本外观设计产品的后视图与主视图相同,左视图与右视图相同,所以省略后视图和左视图。
申请公布号 CN303888576S 申请公布日期 2016.10.12
申请号 CN201630051590.0 申请日期 2016.02.24
申请人 株式会社荏原制作所 发明人 锅谷治;安田穗积;福岛诚;富樫真吾;并木计介;山木晓
分类号 15-99(10) 主分类号 15-99(10)
代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 陈伟
主权项
地址 日本东京都