一种单驱动刚柔耦合精密运动平台及其实现方法及应用

摘要

本发明公开了一种单驱动刚柔耦合精密运动平台，包括机座、直线导轨、刚柔耦合运动平台、直线驱动器及位移传感器，其中刚柔耦合平台包括刚性框架、柔性铰链和核心运动平台；所述刚柔耦合平台的核心运动平台通过柔性铰链与所述刚性框架连接。如此设置，本发明公开的单驱动刚柔耦合精密运动平台，其能够实现平台的高精度连续变化位移，避免了加速度突变导致的位移“抖动”。本发明还公开了一种包括上述平台的实现方法及应用。

主权项

一种单驱动刚柔耦合精密运动平台，其特征在于，包括机座、直线导轨、刚柔耦合运动平台、直线驱动器及位移传感器，其中刚柔耦合平台包括刚性框架、柔性铰链和核心运动平台；所述刚柔耦合平台的核心运动平台通过柔性铰链与所述刚性框架连接；所述刚柔耦合平台的核心运动平台与直线驱动器连接，所述刚性框架通过导轨滑块与固定在所述机座上的所述直线导轨连接，所述核心运动平台在所述直线驱动器作用下带动所述柔性铰链弹性变形，并通过柔性铰链带动所述刚性框架在所述直线导轨长度方向上自由运动；所述位移传感器与所述核心运动平台连接，用于测量核心运动平台在运动方向上的位移。