一种单多晶硅链式酸碱一体制绒及其制备方法

摘要

本发明公开了一种单多晶硅链式酸碱一体制绒及其制备方法，该一体制绒流程为上料→酸绒→碱预洗→碱绒→碱洗→酸洗→下料，在多晶硅制绒时，除了碱绒这个槽体不配药液，其余均配液；单晶硅制绒时所有槽体的药液均配上。多晶制绒的制备方法为酸绒→碱预洗→碱洗→酸洗；单晶制绒的制备方法为酸绒→碱预洗→碱绒→碱洗→酸洗。本发明避免了单多晶切换时再次换溶液的可能，有效地减少了能耗，提高了设备利用率及人力成本和延长了药液使用寿命，节约了成本。

主权项

一种单多晶硅链式酸碱一体制绒，其特征在于一体制绒流程为上料→酸绒→碱预洗→碱绒→碱洗→酸洗→下料，在多晶硅制绒时，除了碱绒槽体不配药液，其余均配液；单晶硅制绒时所有槽体的药液均配上。