微光刻投影曝光设备的照明系统和用于操作该系统的方法

摘要

本发明涉及一种光刻投影曝光设备(12)的照明系统，其包括设置成产生光脉冲(42‑1至42‑3；42‑1,42‑2,52‑1,52‑2)序列的光源(LS；LS1,LS2)。该照明系统另外包括能够在两个切换位置之间进行数字切换的光学元件(32)的阵列(28)。控制器(34)这样控制光学元件(32)，使得这些光学元件仅在两个彼此相继的光脉冲之间改变它们的切换位置并且在光脉冲期间保持它们的切换位置。

主权项

一种微光刻投影曝光设备的照明系统(10)，其具有：a)光源(LS；LS1,LS2)，其设置成产生光脉冲(42‑1,42‑2,42‑3,52‑,52‑2)的序列，b)光学元件(32)的阵列(28)，这些光学元件能够在两个切换位置之间进行数字切换，c)控制器(34)，所述控制器设置成将光学元件控制为使得这些光学元件只是在两个彼此相继的光脉冲之间改变它们的切换位置并且在光脉冲期间保持它们的切换位置。