| 发明名称 | 机台 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种机台，包括机台本体、定盘及静电监控装置，所述定盘设于所述机台本体上，所述定盘用于放置基板；所述静电监控装置设于所述机台本体上且与所述机台本体电连接，所述静电监控装置与所述基板之间具有静电感应距离，所述静电感应距离设置为使得所述静电监控装置能够感应到所述基板上的静电。本发明的机台能够提前、实时检测放置在机台上的基板的静电值。 | ||
| 申请公布号 | CN106019655A | 申请公布日期 | 2016.10.12 |
| 申请号 | CN201610596855.4 | 申请日期 | 2016.07.26 |
| 申请人 | 武汉华星光电技术有限公司 | 发明人 | 刘松;闫晶辰 |
| 分类号 | G02F1/13(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/13(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人 | 郝传鑫;熊永强 |
| 主权项 | 一种机台，其特征在于，包括机台本体、定盘及静电监控装置，所述定盘设于所述机台本体上，所述定盘用于放置基板；所述静电监控装置设于所述机台本体上且与所述机台本体电连接，所述静电监控装置与所述基板之间具有静电感应距离，所述静电感应距离设置为使得所述静电监控装置能够感应到所述基板上的静电。 | ||
| 地址 | 430070 湖北省武汉市武汉东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 | ||