发明名称 |
压电体膜及其制造方法、喷墨头、使用喷墨头形成图像的方法、角速度传感器、使用角速度传感器测定角速度的方法、压电发电元件以及使用该压电发电元件的发电方法 |
摘要 |
本发明的目的在于提供具有高结晶取向性和高强介电特性的NBT‑BT非铅压电体膜。本发明的压电体膜具备仅具有(001)取向的(1‑α)(Bi,Na,Ba)TiO<sub>3</sub>―αBiQO<sub>3</sub>层。(1‑α)(Bi,Na,Ba)TiO<sub>3</sub>―αBiQO<sub>3</sub>层形成在Na<sub>x</sub>M<sub>1‑x</sub>层之上,M表示Pt、Ir或PtIr,Q表示Fe、Co、Zn<sub>0.5</sub>Ti<sub>0.5</sub>或Mg<sub>0.5</sub>Ti<sub>0.5</sub>,x表示0.002以上0.02以下的值,而且,α表示0.20以上0.50以下的值。 |
申请公布号 |
CN103890987B |
申请公布日期 |
2016.10.12 |
申请号 |
CN201380003348.X |
申请日期 |
2013.04.10 |
申请人 |
松下知识产权经营株式会社 |
发明人 |
田中良明;张替贵圣;足立秀明;藤井映志 |
分类号 |
H01L41/187(2006.01)I;B41J2/045(2006.01)I;B41J2/055(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C30B29/32(2006.01)I;G01C19/5628(2006.01)I;H01L41/047(2006.01)I;H01L41/09(2006.01)I;H01L41/113(2006.01)I;H02N2/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L41/187(2006.01)I |
代理机构 |
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 |
代理人 |
龙淳 |
主权项 |
一种压电体膜,其特征在于,包括:作为电极的仅具有(001)取向的Na<sub>x</sub>M<sub>1‑x</sub>层;和作为压电层的仅具有(001)取向的(1‑α)(Bi,Na,Ba)TiO<sub>3</sub>―αBiQO<sub>3</sub>层,其中,所述(1‑α)(Bi,Na,Ba)TiO<sub>3</sub>―αBiQO<sub>3</sub>层形成在所述Na<sub>x</sub>M<sub>1‑x</sub>层之上,M表示Pt、Ir或PtIr,Q表示Fe、Co、Zn<sub>0.5</sub>Ti<sub>0.5</sub>或Mg<sub>0.5</sub>Ti<sub>0.5</sub>,x表示0.002以上0.02以下的值,而且,α表示0.20以上0.50以下的值,所述(1‑α)(Bi,Na,Ba)TiO<sub>3</sub>―αBiQO<sub>3</sub>层与所述Na<sub>x</sub>M<sub>1‑x</sub>层接触。 |
地址 |
日本大阪府 |