发明名称 |
干式滚筒研磨法以及介质的制造方法 |
摘要 |
本发明提供干式滚筒研磨法以及介质的制造方法。在第一工序中,通过在研磨用介质(40)的表面涂敷润滑性赋予材料(44),来形成非湿润的涂敷部(44C),对介质(40)的表面赋予润滑性。在第二工序中,使介质(40)与被加工物(W)在滚筒槽(12)内混合。在第三工序中,通过使介质(40)与被加工物(W)在滚筒槽(12)内流动来对被加工物(W)进行研磨。 |
申请公布号 |
CN106029298A |
申请公布日期 |
2016.10.12 |
申请号 |
CN201580010935.0 |
申请日期 |
2015.02.17 |
申请人 |
新东工业株式会社 |
发明人 |
平塚阳一郎;末菅启朗 |
分类号 |
B24B31/14(2006.01)I;B24D3/00(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I |
主分类号 |
B24B31/14(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
李洋;青炜 |
主权项 |
一种干式滚筒研磨方法,以干式的方式对被加工物进行滚筒研磨,其中,具有:第一工序,在该第一工序中,通过对所述滚筒研磨中所使用的介质的表面涂敷润滑性赋予材料来形成非湿润的涂敷部,对所述介质的表面赋予润滑性;第二工序,在该第二工序中,使所述介质与所述被加工物在研磨槽内混合;以及,第三工序,在该第三工序中,通过使所述介质与所述被加工物在所述研磨槽内流动来对所述被加工物进行研磨。 |
地址 |
日本爱知县 |