一种用于区熔检验硅棒切割的粘贴结构及方法

摘要

本发明公开了一种用于区熔检验硅棒切割的粘贴结构及方法，该粘贴结构包括石墨板，其一面用于与固定板粘接，另一面的中部设有与长边平行的凹槽，凹槽上通过粘接剂粘贴待切割的硅棒。具体操作时，将固定板加热，用石蜡粘贴石墨板，待石墨板的温度升高后，在石墨板的凹槽内涂抹石蜡，并将待切割的硅棒平放于凹槽处，冷却，待石蜡完全凝固后，将固定板装载到切割台夹具处，即可进行检验硅棒的切割操作。其采用的石墨板中石墨质软有滑腻感，比玻璃容易加工，待测试的硅棒小，质量轻，石蜡的熔点为110摄氏度左右，加热、冷却快，石蜡的附着力足够支撑待切割的硅棒重量，非常适合小尺寸检验棒的切割粘贴用；能有效缩短粘接时间；降低硅棒、硅片脱落风险，提高后续测试效率。

主权项

一种用于区熔检验硅棒切割的粘贴结构，其特征在于：包括石墨板（1），其一面用于与固定板粘接，另一面的中部设有与长边平行的凹槽（2），凹槽上通过粘接剂粘贴有待测试的硅棒（3）。