基于MEMS技术的集成微热管散热器

摘要

本发明提供一种基于MEMS技术的集成微热管散热器，包括：散热腔体、吸热腔体、循环管道和散热工质，散热腔体和吸热腔体内均设有内部微流道结构，循环管道与散热腔体中的内部微流道结构、吸热腔体中的内部微流道结构连通；散热工质在循环管道和内部微流道结构的内部进行流通；散热工质进入吸热腔体中的内部微流道结构时为液相，吸热后变为气相，气相工质通过循环管道进入散热腔体中的内部微流道结构，并在散热腔体中的内部微流道结构内遇冷凝结成液相，然后再通过循环管道流回吸热腔体。本发明将气相的散热工质冷却后从散热腔体流入吸热腔体，有利于提高散热器的热交换效率。

主权项

一种基于MEMS技术的集成微热管散热器，其特征在于，包括：散热腔体、吸热腔体、循环管道和散热工质，其中：所述散热腔体和所述吸热腔体内均设有内部微流道结构，所述循环管道位于散热腔体、吸热腔体中间并与散热腔体中的内部微流道结构、吸热腔体中的内部微流道结构连通，从而实现散热腔体、吸热腔体之间的连通；所述散热工质在循环管道和散热腔体中的内部微流道结构、吸热腔体中的内部微流道结构的内部进行流通；所述循环管道分为相通的热循环管道和冷循环管道，所述散热工质进入吸热腔体中的内部微流道结构时为液相，吸热后变为气相，气相工质通过热循环管道进入散热腔体中的内部微流道结构，并在散热腔体中的内部微流道结构内遇冷凝结成液相，然后再通过冷循环管道流回吸热腔体；所述热循环管道的一端为连接吸热腔体的气相工质出口，另一端为连接散热腔体的气相工质进口，所述气相工质出口的口径大于所述气相工质进口的口径；所述冷循环管道的一端为连接散热腔体的液相工质出口，另一端为连接吸热腔体的液相工质进口，所述液相工质出口的口径大于所述液相工质进口的口径。