发明名称 防尘薄膜组件
摘要 本发明的目的为提供一种通气孔开口部以及过滤器的大小由于防尘薄膜组件的高度而被限制,但是即使在防尘薄膜组件的高度被限制为低的场合,也会使过滤器的有效面积充分大,防尘薄膜组件封闭空间的内外的压力差得以很快地缓和的防尘薄膜组件。本发明防尘薄膜组件具有防尘薄膜组件框架21,所述防尘薄膜组件框架21上设置的使防尘薄膜组件封闭空间的内外通气的通气孔25以及在所述通气孔25内设置的至少将该通气孔的一部分塞住的过滤器22,其特征在于:所述通气孔25的在防尘薄膜组件封闭空间内侧的开口部以及防尘薄膜组件封闭空间外侧的开口部的至少任一方为向着防尘薄膜组件上部或者防尘薄膜组件下部设置。再者,本发明的过滤器优选使向着防尘薄膜组件上部或者防尘薄膜组件下部设置的通气孔25的开口部被塞住。
申请公布号 CN106019818A 申请公布日期 2016.10.12
申请号 CN201610169089.3 申请日期 2016.03.23
申请人 信越化学工业株式会社 发明人 白崎享
分类号 G03F1/64(2012.01)I;G03F1/62(2012.01)I 主分类号 G03F1/64(2012.01)I
代理机构 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人 王勇;王博
主权项 一种防尘薄膜组件,具有防尘薄膜组件框架,在所述防尘薄膜组件框架上设置的使防尘薄膜组件封闭空间的内外通气的通气孔以及在所述通气孔内设置的将该通气孔的至少一部分塞住的过滤器,其特征在于:所述通气孔的在防尘薄膜组件封闭空间内侧的开口部以及防尘薄膜组件封闭空间外侧的开口部中的至少任一个向着防尘薄膜组件上部或者防尘薄膜组件下部设置。
地址 日本东京都