非对称菱形放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法

摘要

一种非对称菱形放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法，以解决当前压电粘滑直线电机由于摩擦力综合调控困难所导致的输出机械性能受限等问题。本发明包括预压力调节装置、定子和动子三部分，所述定子的非对称菱形位移放大转换机构具有微位移放大功能，利用其非对称结构可以产生侧向位移，同时增大摩擦驱动力和减小摩擦阻力。通过将摩擦调控波耦合叠加于定子快速变形驱动阶段的锯齿驱动波中，从而降低快速变形驱动阶段定、动子间摩擦阻力，实现对摩擦力的综合调控，显著提升压电粘滑直线电机的机械输出特性。本发明因具有结构简单紧凑、易装配、精度高以及行程大等特点，可以广泛应用于精密光学仪器、半导体加工等微纳精密驱动与定位技术领域。

主权项

一种非对称菱形放大机构压电粘滑直线电机，其特征在于该非对称菱形放大机构压电粘滑直线电机由预压力调节装置（1）、定子（2）和动子（3）组成；所述定子（2）固定安装在预压力调节装置（1）上，动子（3）固定安装在预压力调节装置（1）上。