Randerkennungsabweichungskorrekturwertberechnungsverfahren, Randerkennungsabweichungskorrekturverfahren und Randerkennungsabweichungskorrekturprogramm

摘要

Ein Abstand in einer Abtastrichtung zwischen einem ersten Satz von Rändern, die einander zugewandt sind und einen entgegengesetzten Wechsel zwischen hell und dunkel zeigen, wird von einer Bildmessmaschine (1) gemessen und ein Abweichungskorrekturwert wird auf der Basis eines Unterschieds zwischen einem Messwert und einem wahren Wert berechnet. Unter Verwendung des Abweichungskorrekturwerts werden Erkennungspunktkorrekturwerte, die Korrekturwerte in verschiedenen Richtungen von Randerkennungspunkten sind, die durch eine Abtastung eines Messobjekts (W) unter Verwendung der Bildmessmaschine (1) erkannt wurden, berechnet; ein Korrekturumfang, der bei einer Korrektur der Randerkennungspunkte verwendet wird, wird auf der Basis des Erkennungspunktkorrekturwerts in jeder Richtung spezifiziert, und die Randerkennungspunkte werden unter Verwendung des Korrekturumfangs korrigiert.