发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Siliziumcarbid-haltigen Körpers
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Siliziumcarbid-enthaltenden Körpers (100), dadurch gekennzeichnet, das Verfahren die Verfahrensschritte aufweist: a) Bereitstellen eines Gemisches (16) mit einer Siliziumquelle und einer Kohlenstoffquelle, wobei die Siliziumquelle und die Kohlenstoffquelle gemeinsam in Partikeln eines Feststoffgranulats vorliegen; b) Anordnen einer Schicht des bei Verfahrensschritt a) bereitgestellten Gemisches (16) auf einem Träger (12), wobei die Schicht des Gemisches (16) eine vordefinierte Dicke aufweist; und c) Lokal begrenztes Behandeln des in Verfahrensschritt b) angeordneten Gemisches (16) mit einer Temperatur in einem Bereich von ≥ 1400°C bis ≤ 2000°C nach einem vorbestimmten räumlichen Muster, wobei das vorbestimmte räumliche Muster ausgewählt ist basierend auf der räumlichen Ausgestaltung des zu erzeugenden Körpers (100). Ein derartiges Verfahren erlaubt ein einfaches und kostengünstiges Erzeugen auch komplexer Strukturen aus Siliziumcarbid.
申请公布号 DE102015105085(A1) 申请公布日期 2016.10.06
申请号 DE201510105085 申请日期 2015.04.01
申请人 Universität Paderborn 发明人 Greulich-Weber, Siegmund
分类号 C04B35/565;C01B31/36;C04B35/65 主分类号 C04B35/565
代理机构 代理人
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