COIL EMBEDED INTEGRATED CIRCUIT SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

摘要

일 실시예에 따른 코일 내장 집적회로 기판은, 적어도 부분적으로 가공된 공간이 형성된 코어 기판, 상기 적어도 부분적으로 가공된 공간 내에 배치되는 코일, 상기 코일 주변 공간 및 상기 적어도 부분적으로 가공된 공간 내 공극을 채우는 충진재, 및 상기 코어 기판의 상, 하면에 형성되는 절연층을 포함하는 코일 내장 집적회로 기판 및 그 제조 방법을 제공한다.