| 摘要 |
본 발명은 검사접촉장치에 관한 것으로서, 시험체와 마주보게 되며, 프로브의 일단이 삽입되는 프로브 홀이 형성되는 제1 가이드 플레이트와; 제1 가이드 플레이트와 평행하게 위치하며, 프로브의 타단이 삽입되는 프로브 홀이 형성되는 제2 가이드 플레이트와; 한 쪽 끝은 상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀에 삽입되며, 다른 한 쪽 끝은 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀에 삽입되며, 상기 제1 가이드 플레이트와 상기 제2 가이드 플레이트 사이에 있게 되는 부분이 벤딩되며 탄성변형을 할 수 있는 복수의 프로브를 포함하여 구성되어 있으며; 상기 가이드 플레이트의 표면에 나타나는 프로브 홀의 형상 중 적어도 하나에 있어서, 상기 프로브가 벤딩될 때 프로브의 중간 부분이 앞으로 전진하는 벤딩방향과 일치하는 방향의 내경이 이와 수직되는 방향의 내경에 비해서 더 긴 것을 특징으로 하는 검사접촉장치를 제공한다. 상기와 같은 본 발명에 따르면, 수직형 프로브를 이용한 협 피치용(fine pitch) 검사접촉장치를 보다 손쉽게 구현할 수 있으며, 검사접촉장치가 갖는 프로브의 최대 허용 스트로크(stroke)가 늘어나고, 프로브가 시험체에 접촉하여 만드는 접점에서의 접촉저항이 낮아지는 효과가 있다. |
