| 发明名称 |
ABRASIVE, AND ABRASIVE SLURRY |
| 摘要 |
An abrasive according to an embodiment includes a polymer additive and abrasive grains for polishing a substrate. The abrasive grains include manganese oxide. |
| 申请公布号 |
WO2016158328(A1) |
申请公布日期 |
2016.10.06 |
| 申请号 |
WO2016JP57856 |
申请日期 |
2016.03.11 |
| 申请人 |
MITSUI MINING & SMELTING CO., LTD. |
发明人 |
MATSUYAMA, Masayuki |
| 分类号 |
C09K3/14;H01L21/304 |
主分类号 |
C09K3/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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