| 摘要 |
WCl을 승화해서 원료를 성막 처리부에 공급함에 있어서, 원료의 공급량을 안정시키는 기술을 제공한다. 내부에 고체 원료를 박막으로서 석출시킨 제1 및 제2 원료 포착부(41, 42)의 온도를 조정해서 원료를 승화시켜, 캐리어 가스와 함께 승화한 원료를 소비 구역에 공급하고 있다. 또한 제1 및 제2 원료 포착부(41, 42)로부터 성막 처리부(1A 내지 1C)에 공급되는 원료의 유량을 측정하고, 원료의 유량의 측정값에 기초하여, 고체 원료의 온도를 조정해서 원료의 승화량을 조정하여, 원료의 공급량을 제어하고 있다. 제1 및 제2 원료 포착부(41, 42)에 원료를 박막으로서 석출시키고 있기 때문에, 제1 및 제2 원료 포착부(41, 42)의 온도 조정에 의해, 빠르게 원료의 승화량을 조정할 수 있다. 따라서 원료의 유량의 측정값에 기초하여 원료 공급원의 온도를 조정함으로써 소비 구역에 공급되는 원료의 양을 안정시킬 수 있다. |
