| 发明名称 |
Etchant composition and method for fabricating metal pattern |
| 摘要 |
본 발명은 알루미늄 합금 및 몰리브덴 합금을 포함하는 다층막에 사용되는 인산, 질산, 아세트산, 질산 제 2철염 및 물을 포함하는 식각액 조성물 및 이를 이용한 금속 패턴의 형성 방법에 관한 것이다. |
| 申请公布号 |
KR20160114887(A) |
申请公布日期 |
2016.10.06 |
| 申请号 |
KR20150041347 |
申请日期 |
2015.03.25 |
| 申请人 |
DONGWOO FINE-CHEM CO., LTD. |
发明人 |
PARK, SEUNG UK;KIM, TAE YONG |
| 分类号 |
C09K13/06;C23F1/20;C23F1/30;H01L21/306 |
主分类号 |
C09K13/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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