厚さ測定装置およびこれを用いた厚さ測定方法

摘要

本発明は、厚さ測定装置に関する。本発明の厚さ測定装置は、反射光度計（Ｒｅｆｌｅｃｔｏｍｅｔｅｒ）を用いる厚さ測定装置において、光を放出する光源と、前記光源から放出される光の提供を受けて、互いに異なる複数の周波数に対して選択的に透過させて強度分布を有する光に変調し、前記強度分布を有する光の波長幅を調節することができる光フィルタ部と、前記光フィルタ部から変調された光を測定対象物側に照射し、前記測定対象物側から反射される光が入射される光学系と、前記光学系を通過した光の提供を受けて反射率情報を獲得する光検出部と、前記光フィルタ部を透過することができる複数の周波数を設定して、前記光フィルタ部によって変調される光の波長幅を調節し、数式によってモデリングされて、あらかじめ−記憶された理論反射率情報と前記光検出部により獲得された反射率情報を比較することによって測定対象物の厚さを測定する制御部を含むことを特徴とする厚さ測定装置であることを特徴とする。【選択図】図２