| 摘要 |
本発明は、マイクロリソグラフィ投影露光装置を作動させる方法に関する。第１の段階（Ｓ１）において、複数の実マニピュレータ（Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３）を含む投影対物系（２０）が与えられる。第２の段階（Ｓ２）において、実マニピュレータのうちの少なくとも２つに対する予備制御信号を生成するように構成された仮想マニピュレータが定義される。第３の段階（Ｓ３）において、装置の作動中に投影対物系（２０）の実像誤差が決定される。第４の段階（Ｓ４）において、望ましい補正効果が決定される。第５の段階（Ｓ５）において、仮想マニピュレータに対する第１の仮想制御信号が決定される。第６の段階（Ｓ６）において、実マニピュレータに対する第２の仮想制御信号が決定される。第７の段階（Ｓ７）において、第１及び第２の仮想制御信号の関数として実マニピュレータに対する最終制御信号が決定される。第８の段階（Ｓ８）において、最終制御信号が実マニピュレータに印加される。【選択図】図９ |
