半导体装置

摘要

具有检测磁方向的磁传感器的半导体装置，其特征在于由磁性体即磁收敛板造成的应力较小。磁传感器具备：设在半导体衬底表面的霍尔元件；以及具有磁放大功能的由磁性体构成的磁收敛板，其至少局部地覆盖各个所述霍尔元件，在所述磁性体加入有狭缝或狭槽，抑制在霍尔元件产生的应力。

主权项

一种半导体装置，具有磁传感器，该磁传感器具备：霍尔元件，设在半导体衬底的表面；以及磁收敛板，设在所述半导体衬底上，所述磁收敛板至少局部地覆盖各个所述霍尔元件，其特征在于：所述磁收敛板具有多个从外周的一点设置到其它点的狭缝，通过多个所述狭缝，所述磁收敛板被分为3个以上的部分。