用于多功能静电夹钳操作的可变电极图案

摘要

一种静电夹紧系统提供静电夹钳(ESC)，其具有夹紧表面以及第一对及第二对电极。所述第一对电极中的每一电极与所述夹紧表面的相应三分之一相关联，并且所述第二对电极中的每一电极与所述夹紧表面的相应六分之一相关联。所述第一对及第二对电极中的每一对的外围区域的宽度朝所述夹紧表面的外围呈螺旋状递减。电源供应器选择性输出DC及三相AC箝位电压。控制器选择性以DC模式及AC模式操作所述ESC。所述DC模式将所述第一对电极中的一个电极及所述第二对电极中的一个电极电性连接至所述电源供应器的正极端子，并且将所述第一对电极中的另一电极及所述第二对电极中的另一电极电性连接至所述电源供应器的负极端子。所述AC模式将所述电源供应器的第一相端子电性连接至所述第一对电极中的一个电极，将所述电源供应器的第二相端子电性连接至所述第一对电极中的另一电极，并且将所述电源供应器的第三相端子电性连接至所述第二对电极的两个电极。

主权项

一种静电夹紧系统，其包括：静电夹盘，其具有与其相关联的夹紧表面，其中所述静电夹钳包括第一对电极及第二对电极，其中所述第一对电极中的每一电极与所述夹紧表面的相应三分之一相关联，并且所述第二对电极中的每一电极与所述夹紧表面的相应六分之一相关联；电源供应器，其配置成选择性输出DC箝位电压及三相AC箝位电压；以及控制器，其配置成选择性以DC模式及AC模式操作所述静电夹钳，其中所述DC模式将所述第一对电极中的一个电极及所述第二对电极中的一个电极电性连接至所述电源供应器的正极端子，并且将所述第一对电极中的另一电极及所述第二对电极中的另一电极电性连接至所述电源供应器的负极端子，并且所述AC模式将所述电源供应器的第一相端子电性连接至所述第一对电极中的一个电极，将所述电源供应器的第二相端子电性连接至所述第一对电极中的另一电极，并且将所述电源供应器的第三相端子电性连接至所述第二对电极的两个电极。