| 发明名称 | 形状测定方法及形状测定装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种形状测定方法及形状测定装置，其使触针沿着测定面平滑地扫描，从而实现高精度且快速的形状测定。重复包括平行移动和正交移动在内的测头(26)的相对于测定面的相对移动，该平行移动使触针(20)相对于测定面而向与测定面平行的方向移动指定的距离，该正交移动以在包括触针(20)的位置相对于测头(26)的位置的位移量和位移方向在内的触针位移矢量D<sub>i</sub>的测定面上使法线方向的大小成为预先确定的压入量的设定值C的方式，使测头(26)向根据当前的触针位置S<sub>i</sub>与过去的触针位置S<sub>i</sub>’之差而算出的测定面的法线方向移动。 | ||
| 申请公布号 | CN103852048B | 申请公布日期 | 2016.10.05 |
| 申请号 | CN201310631384.2 | 申请日期 | 2013.12.02 |
| 申请人 | 松下知识产权经营株式会社 | 发明人 | 土居正照 |
| 分类号 | G01B21/20(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I | 主分类号 | G01B21/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 雒运朴 |
| 主权项 | 一种形状测定方法，其中，准备触针，该触针借助来自测定面的测定力而被支承为能够相对于测头位移，重复包括平行移动和正交移动在内的所述测头的相对于所述测定面的相对移动，所述平行移动使所述触针相对于所述测定面而向与所述测定面平行的方向移动指定的距离，所述正交移动检测包括所述触针的位置相对于所述测头的位置的位移量和位移方向在内的触针位移矢量，基于所述测定面的测定点处的法线方向的值，算出所述触针位移矢量的法线方向分量，基于所述测定面上的法线方向的压入量的设定值和所述法线方向分量，使所述测头向根据当前的触针位置与过去的触针位置之差而算出的所述测定面的法线方向移动，使得所述触针位移矢量的法线方向分量成为所述压入量的设定值。 | ||
| 地址 | 日本国大阪府 | ||