一种镓源自动补给及回收装置

摘要

本发明公开了一种镓源自动补给及回收装置，设计了一种含镓舟、连通器、控制阀、附加镓舟、加热器、液位控制器、控制系统及发动机的镓源自动补给及回收装置。利用连通器的工作原理，设计控制镓源的自动补给及回收，解决HVPE技术生长氮化物半导体材料过程中，因金属镓源不断地被消耗，镓源液面不断降低，而导致在相同工艺条件下，生成的氯化镓浓度减少，严重影响氮化物材料的生长系统中源材料供给的均匀稳定性，使HVPE外延生长中出现晶体生长速率下降、晶体膜厚的工艺重复性较差，以及HVPE机台维护时残留在镓舟内剩余镓源的回收重复利用等问题。本发明装置结构合理紧凑、操作简便，能更好地保证镓源的及时补给，提高HVPE反应系统的稳定性及可靠性，增加HVPE设备的使用寿命，同时还可以利用连通器回收未用完的金属镓源，提高镓源的利用率，极具实用价值。

主权项

一种镓源自动补给及回收装置，包括镓舟、连通器、控制阀、附加镓舟、加热器、液位控制器、控制系统及发动机；其特征在于，所述镓舟安装在反应腔体内，主要用于存放金属镓源，而且镓舟内设定的镓源液面高度(其最大及最小高度)始终处于待生长氮化镓厚膜所需的最佳镓源液面高度范围内，从而保证氮化物的最佳生长速率及晶体质量。