半导体设备中的基板传送舱

摘要

本发明涉及半导体生产和制造领域，更具体地说，涉及到一种用在半导体设备之上的基板传送舱。该基板传送舱，包括侧板和端板，基板传送舱内设置有基板架，基板架上开设有豁口，豁口用于放置基板；基板传送舱内还包括多根锁定柱，锁定柱朝向或背向基板的边缘运动，在各个锁定柱上等高的位置处开设有嵌槽，嵌槽的上方和下方设置有滑坡，当锁定柱朝向基板的边缘运动并与基板相接触时，滑坡引导基板滑向嵌槽，锁定柱将基板的位置固定。采用本发明涉及的基板传送舱，能够克服惯性造成的不利影响，避免运送过程中颗粒污染的产生，并大大提高了工艺过程中的输运效率。

主权项

一种半导体设备中的基板传送舱，包括侧板和端板，其特征在于，所述基板传送舱内设置有基板架，该基板架上开设有豁口，所述豁口用于放置所述基板；所述基板传送舱内还包括多根锁定柱，所述锁定柱朝向或背向所述基板的边缘运动，在所述各个锁定柱上等高的位置处开设有嵌槽，当所述锁定柱朝向所述基板的边缘运动并与所述基板相接触时，所述基板嵌入到所述嵌槽，所述锁定柱将所述基板的位置固定。