一种激光刻蚀机

摘要

本实用新型公开了一种激光刻蚀机，包括工作平台，其特征在于：所述工作平台上设有直线运动模组及设置于直线运动模组一侧的激光发射器，所述激光发射器的激光束发射端朝向所述直线运动模组设置；所述激光发射器与所述直线运动模组之间还设有一支架，所述支架一端安装于所述激光发射器的底部，另一端设置于所述直线运动模组的正上方，所述支架上依次设有第一反射镜、第二反射镜、扩束镜、可调光阑及扫描振镜，所述第一反射镜靠近所述激光发射器的激光束发射端设置，所述扫描振镜设置于所述支架的端部，并设置于所述直线运动模组的上方，且所述扫描振镜的底部还设有扫描透镜。本实用新型提高了产品打孔的垂直度以及打孔精度。

主权项

一种激光刻蚀机，包括工作平台，其特征在于：所述工作平台上设有直线运动模组及设置于直线运动模组一侧的激光发射器，所述激光发射器的激光束发射端朝向所述直线运动模组设置；所述激光发射器与所述直线运动模组之间还设有一支架，所述支架一端安装于所述激光发射器的底部，另一端设置于所述直线运动模组的正上方，所述支架上依次设有第一反射镜、第二反射镜、扩束镜、可调光阑及扫描振镜，所述第一反射镜靠近所述激光发射器的激光束发射端设置，所述扫描振镜设置于所述支架的端部，并设置于所述直线运动模组的上方，且所述扫描振镜的底部还设有扫描透镜。