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发明名称
SYSTEM AND METHOD OF SHIFTING A CARRIER
摘要
캐리어들을 안정적으로 이송시킬 수 있는 캐리어 이송 시스템 및 방법이 개시된다. 상기 캐리어 이송 시스템은 일단에 치형이 형성된 이송 부재 및 상기 이송 부재의 치형과 맞물리는 치형을 가진 구동 부재를 포함한다. 여기서, 캐리어는 상기 이송 부재에 의해 지지되며, 상기 구동 부재의 회전에 따라 상기 이송 부재가 직선 운동하여 상기 캐리어를 특정 방향으로 이송시킨다.
申请公布号
KR20160114302(A)
申请公布日期
2016.10.05
申请号
KR20150040585
申请日期
2015.03.24
申请人
UNIPLASMA CORPORATION
发明人
PARK, SUNG WAN
分类号
H01L21/677
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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